BN-ALN

BN零件用于半导体设备上的绝缘、散热或晶体外延生长，例如PVD/CVD/MOCVD。 配套型号： BN-99、BN-ALN 优势： • 高电阻 • 耐高温 • 高抗电击穿性能 • 无污染 • 防腐 • 易于加工

BN-AlN陶瓷是由氮化硼（BN）和氮化铝（AIN）粉末烧结而成。它具有优异的电绝缘性、热导率、高强度、抗热冲击性以及对卤素气体等离子体的强抵抗性，因此具有广泛的应用范围，包括半导体生产设备的组件和需要有效散热的组件。   离子源是一种在真空室中产生原子和分子离子的装置。氮化铝/氮化硼复合材料具有优异的电绝缘性、热导率、对真空的密封能力，并且不会释放出太多气体。因此它在离子源中起着散热器和传热板的作用。     材料优势： …