technical ceramic solutions

BN-ALN

  • 离子源用氮化铝/氮化硼复合BN-AlN陶瓷部件 Company

    BN-AlN陶瓷是由氮化硼(BN)和氮化铝(AIN)粉末烧结而成。它具有优异的电绝缘性、热导率、高强度、抗热冲击性以及对卤素气体等离子体的强抵抗性,因此具有广泛的应用范围,包括半导体生产设备的组件和需要有效散热的组件。   离子源是一种在真空室中产生原子和分子离子的装置。氮化铝/氮化硼复合材料具有优异的电绝缘性、热导率、对真空的密封能力,并且不会释放出太多气体。因此它在离子源中起着散热器和传热板的作用。     材料优势: …

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