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离子源用氮化铝/氮化硼复合BN-AlN陶瓷部件

BN-AlN陶瓷是由氮化硼(BN)氮化铝(AIN)粉末烧结而成。它具有优异的电绝缘性、热导率、高强度、抗热冲击性以及对卤素气体等离子体的强抵抗性,因此具有广泛的应用范围,包括半导体生产设备的组件和需要有效散热的组件。

 

离子源是一种在真空室中产生原子和分子离子的装置。氮化铝/氮化硼复合材料具有优异的电绝缘性、热导率、对真空的密封能力,并且不会释放出太多气体。因此它在离子源中起着散热器和传热板的作用。

 

BN+ALN

 

材料优势:

  • 机械强度高。
  • 热导率高。
  • 热膨胀率低。
  • 介电损耗低。
  • 电绝缘性优良。
  • 耐腐蚀性强——不被熔融金属浸润。
  • 可加工性优良——BN-AlN 可加工成高精度复杂形状。
  • 对真空具有优良的密封能力,不会释放太多气体。
  • 高频波特性,可让可见红外光轻松穿过。

 

材料属性:

属性 单位 BAN
主要成分 / BN+ALN
颜色 / 灰绿色
密度 g/cm3 2.8~2.9
三点弯曲强度 MPa 90
抗压强度 MPa 220
热导率 W/m·k 85
热膨胀系数(20-1000℃) 10-6/K 2.8
最高使用温度 大气中 ℃ 900
惰性气体中 ℃ 1750
高真空中 ℃ 1750

 

应用

  • 散热器
  • 真空元件
  • 需要低介电常数和耗散因数的元件
  • 需要低热膨胀系数的零件和元件
  • 需要电绝缘和散热的电子元件
  • 霍尔效应推进器的电力推进放电通道

 

BN+ALN

 

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