离子源

离子注入机作为先进的半导体制造设备，对材料的性能要求非常高。 陶瓷配件作为重要部件，在离子注入机中起着至关重要的作用。   A.离子注入机配件和陶瓷配件的基本特点     离子注入机配件主要采用高纯氮化硅、碳化硅（SiC）、氧化铝、氧化铝/碳化硅微孔陶瓷、氮化铝（AIN）、蓝宝石等陶瓷材料制成，具有以下特点：   1.高硬度、高强度：陶瓷配件具有较高的硬度和强度，在离子注入过程中能承受较高的负荷和磨损…

BN-AlN陶瓷是由氮化硼（BN）和氮化铝（AIN）粉末烧结而成。它具有优异的电绝缘性、热导率、高强度、抗热冲击性以及对卤素气体等离子体的强抵抗性，因此具有广泛的应用范围，包括半导体生产设备的组件和需要有效散热的组件。   离子源是一种在真空室中产生原子和分子离子的装置。氮化铝/氮化硼复合材料具有优异的电绝缘性、热导率、对真空的密封能力，并且不会释放出太多气体。因此它在离子源中起着散热器和传热板的作用。     材料优势： …

Innovacera Advanced Materials 很高兴能提供新的标准灯丝组件支架，这是分析和医疗行业质谱应用中的关键组件。 这些灯丝组件支架采用我们的 96% 氧化铝陶瓷制造，因其良好的电绝缘性和高温稳定性而被选中。客户可以选择两针和四针选项，针脚焊接到氧化铝绝缘体中，随时可以进行灯丝焊接。与通常只能承受高达 350°C 的温度的标准粘合剂相比，Innovacera 的钎焊工艺使灯丝能够承受更高的温度（约 700°C）。 多年的陶瓷-金属组件制造经验意味着我们可以…