随着碳化硅、氮化镓功率器件和高功率电子系统的发展,陶瓷金属化工艺如DBC(直接键合铜)和DPC(直接电镀铜)对氮化铝基板在尺寸稳定性、平面度、表面状况、热导率及批次一致性方面提出了更高要求。 对于DBC、DPC加工企业及功率模块封装制造商而言,生产中常被忽视的问题是:即使后续金属化工艺参数基本稳定,产品加工良率仍可能在不同批次间波动。 此类问题未必源于金属化工艺本身。当氮化铝基板坯料(后续加工的基…
随着碳化硅、氮化镓功率器件和高功率电子系统的发展,陶瓷金属化工艺如DBC(直接键合铜)和DPC(直接电镀铜)对氮化铝基板在尺寸稳定性、平面度、表面状况、热导率及批次一致性方面提出了更高要求。 对于DBC、DPC加工企业及功率模块封装制造商而言,生产中常被忽视的问题是:即使后续金属化工艺参数基本稳定,产品加工良率仍可能在不同批次间波动。 此类问题未必源于金属化工艺本身。当氮化铝基板坯料(后续加工的基…