PVD ALD CVD

谈到沉积技术，我们必须提到物理气相沉积 (PVD)、原子层沉积 ( ALD) 和化学气相沉积 ( CVD)，这些技术对于制造半导体、电子、航空航天工业等的高精度部件至关重要。氮化硼 (BN) 陶瓷的多功能性和特性使其成为 PVD、ALD 和 CVD 系统中的关键组件。在这里我想谈谈 BN 陶瓷在这些系统中的作用。     氮化硼陶瓷由排列成晶格结构的硼和氮原子组成。它们可以以六方晶格（HBN）的形式存在，这是最常用的形式，因为它与石墨相似，使其成为出…