Alumina-Keramik-Fokusringe dienen als kritische Komponenten in Plasma-Ätzgeräten, vorwiegend in der Ätzkammer. Die Ringe sind strategisch platziert, um die Plasmaverteilung zu optimieren und die Gleichmäßigkeit während des Ätzprozesses zu gewährleisten.
Halbleiterherstellungsprozesse erfordern den Betrieb in Reinraumumgebungen, insbesondere für Komponenten, die unter Hochtemperatur-, Vakuum- und korrosiven Gasbedingungen eingesetzt werden. Keramische Materialien behalten eine hohe Stabilität in diesen komplexen physikalischen und chemischen Umgebungen.
Der Keramik-Fokusring ist ein kritischer Bestandteil des Halbleiter-Ätzprozesses. Wenn Aluminium-Legierung als Ätzkammermaterial gewählt wird, kann dies leicht zu Metallpartikelkontamination führen. Daher wird hochreine (über 99,5 %) Aluminiumoxid-Keramik bei der Herstellung von Keramik-Fokusringen als Kammermaterial für Plasma-Ätzausrüstung verwendet.
Eigenschaften der Keramik-Fokusringe:
– Verschleißbeständigkeit,
– Korrosionsbeständigkeit,
– Ausgezeichnete mechanische Eigenschaften,
– Elektrische Isolation,
– Entsprechen den Qualitätsstandards für Halbleiterprodukte.
Innovacera verfügt über reiche Erfahrungen in technischen Keramiklösungen, fortschrittlichen Keramikkomponenten und der Halbleiterindustrie seit über 10 Jahren. Wir haben ein hohes Qualitätsstandardsystem und einen strengen Qualitätskontrollprozess etabliert, bei dem jede Produktcharge einer strengen Qualitätsprüfung unterzogen wird. Die Dienstphilosophie von Innovacera ist die Erfüllung von Qualitätsanforderungen und Kundenzufriedenheit.
Wenn Sie Alumina-Keramik-Fokusringe benötigen, treten Sie bitte mit uns in Verbindung.
Erklärung: Dies ist ein Originalartikel von INNOVACERA®. Bitte geben Sie den Quelllink an, wenn Sie ihn erneut veröffentlichen: https://www.innovacera.com/de/product/alumina-ceramic-focus-rings.
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