Die Komponenten sind speziell für Hochvakuum-, Ultrahochvakuum- und anspruchsvolle Arbeitsbedingungen konzipiert. Sie arbeiten stabil unter extremen Temperaturschocks, mechanischen Belastungen und Langzeit-Bedampfung. Sie sind die Schlüsselkomponenten für die Signalübertragung, Energiezufuhr oder Sensorsignalausgabe in Vakuumgeräten.
Diese werden weit verbreitet in hochwertigen wissenschaftlichen Forschungs- und Industrieanlagen wie Massenspektrometrie, CT-Röhren, Keramik-Kernsäulen, Elektronenmikroskopen, Teilchenbeschleunigern, Vakuummetallurgie, Halbleiterbeschichtung und Raumschiffsimulationskabinen eingesetzt.
Struktur und Materialien
– Keramischer Isolator: Hochreines Alumina-Keramik mit hervorragender elektrischer Isolierung, Hochtemperaturbeständigkeit und chemischer Stabilität
– Metallkontakte/Stangen: Edelstahl, Molybdän, Kovar oder nickelbasierte Legierungen (optional), um unterschiedliche Wärmeausdehnungsanforderungen zu erfüllen
-Versiegelungsmethode: Vakuumlötung (metall-keraimische eutektische Lötung), mit permanenter Gasdichtung
-Strukturform: Mehrpolig (2-polig/3-polig/4-polig und individuell gestaltet), axial oder Flanschtyp verfügbar
Vorteile:
– Ausgezeichnete Vakuumdichtheit
– Starke Beständigkeit gegen hohe Temperaturen und thermische Zyklen
– Hohe Isolierfähigkeit
– Langzeitzuverlässigkeit
– Höchst anpassbar
Typische Anwendung
– Vakuumöfen und Hochtemperatur-Vakuumheizsysteme
– Vakuumbeschichtungs- und Plasmageräte
– Halbleiter- und Forschungsvakuumgeräte
– Hochvakuum-Sensoren und Elektro-Vakuumkomponenten
Technische Spezifikationen:
| Bezeichnung | Spezifikation |
| Keramikmaterial | ≥95% Alumina |
| Versiegelungsprozess | Hochtemperatur-Vakuumlötung |
| Betriebsvakuum | Hochvakuum / Ultrahochvakuum |
| Leckrate | ≤10⁻⁹ mbar·L/s |
| Betriebstemperatur | Bis 300–800°C (strukturabhängig) |
| Anzahl der Kontakte | 1–4 Kontakte (anpassbar) |
| Isolationswiderstand | ≥10⁹ Ω |
| Montageart | Flansch / Durchführung / Individuell |
Diese gelötete keramische Vakuumverbindung wurde vollständig auf thermische Ausdehnungsanpassung, Spannungsabfuhr und Vakuumzuverlässigkeit ausgelegt. Sie verringert erheblich das Leckrisiko im System und verbessert die Langzeitstabilität und Konsistenz des gesamten Geräts. Sie ist eine unabdingbare Schlüsselkomponente in hochverlässigen Vakuumsystemen.
Erklärung: Dies ist ein Originalartikel von INNOVACERA®. Bitte geben Sie den Quelllink an, wenn Sie ihn erneut veröffentlichen: https://www.innovacera.com/de/product/ceramic-vacuum-feedthrough.
enquiry