高出力パワーエレクトロニクスの分野では、セラミックウェハーが大きな貢献をしています。ハイテク材料と聞くと、シリコン、グラフェン、あるいはイーロン・マスクが今週ツイートしているようなものが思い浮かぶかもしれません。しかし、ここInnovaceraでは、真の舞台裏のスーパースター、窒化アルミニウム(AlN)をご紹介したいと思います。
窒化アルミニウム(AlN)はシリコンほど知名度はないかもしれませんが、それ以上の優れた特性を持っています。それは、最大230 W/m・Kという高い熱伝導率です。
ちなみに、これはアルミナの9.5倍に相当します。エンジニアを驚かせ、熱管理の専門家を歓喜させるような性能と言えます。

LEDの冷却、レーザーダイオードの整列、高温センサーの安定した動作など、AlNはあらゆる用途に対応し、しかもスタイリッシュに機能します。
電気絶縁性、機械的強度(450MPa)、耐熱衝撃性、耐溶融金属性など、優れた特性を備えています。
Innovaceraは2インチから12インチまで、厚さ0.125mmから3mmまでのAlNウェハを提供しています。
ノッチ付きの6インチまたは8インチウェハをご希望ですか?ご用意しております。
カスタム仕様が必要ですか?お客様のご要望を伺い、エンジニアが対応いたします。
ですから、次回パワーモジュールやMOSFETを設計する際、あるいは単に圧力に負けない素材が必要な時は、AlNは単なる材料ではないことを思い出してください。
それは驚異的な素材です。そして今、厦門から笑顔とともにお届けします。
| 特性 | 単位 | 6インチウェハ | 8インチウェハ |
|---|---|---|---|
| 材料 | – | AlN | AlN |
| 熱伝導率 | W/(m·K) | >170 >200 >220 |
>170 >200 >220 |
| 熱膨張係数 | ppm/K (300~1200K) | 4~6 | 4~6 |
| 焼結助剤 | – | Y2O3 | Y2O3 |
| 直径 | mm | 150±0.25 | 200±0.25 |
| ノッチ深さ | mm | 1.0+0.25/-0/位置決めエッジ | 1.0+0.25/-0 |
| ノッチ角度 | – | 90°+5/-2° | 90°+5/-2° |
| 厚さ | μm | 400±15 | 400±15 |
| 厚さ公差 | μm | プレミアム: 0.0127 標準: 0.0254 | |
| TTV | μm | プレミアム: 5 標準: 10 | |
| 反り | μm | ±30 | ±30 |
| 経度 | μm | ±50 | ±50 |
| Ra | nm | ±50 | ±50 |
参考情報として、以下のパラメータがあります。
熱伝導率のチャンピオン: 貴社資料に記載されているように、最大170~230 W/m・Kという非常に高い熱伝導率を誇り、迅速な放熱を可能にするため、電子機器の熱管理に最適な材料です。
ハイパワープロ: バンドギャップが約6.2eVの超広帯域半導体として分類され、非常に高い絶縁破壊電界強度を備えています。これにより、高電圧・高電力に耐えながら、優れた効率を実現します。
安定性の管理者:高温、高電圧、高周波環境下でも安定した性能を維持し、熱衝撃や化学腐食にも強く、揺るぎない信頼性で高い評価を得ています。
UV透過率の専門家:深紫外(DUV)光に対して優れた透過率を示し、LEDやレーザーなどのDUV光電子デバイスの製造に理想的な基板材料です。
詳細については、sales@innovacera.comまでお問い合わせください。
声明:これはINNOVACERA®のオリジナル記事です。転載する際は、出典リンクを明記してください:https://www.innovacera.com/ja/news-ja/why-choose-aluminum-nitride-for-power-electronics-superior-thermal-management-solution.html。




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