AlN基板焼結

窒化アルミニウム（AlN）基板は、必要な密度と材料特性を実現するために、通常、制御された雰囲気下で高温焼結されます。このプロセスにおいて、セッタープレートは基板を支持し、同様の過酷な熱環境にさらされます。 窒化ホウ素（BN）は、熱安定性、低熱膨張係数、およびほとんどのセラミック材料に対する反応性・付着性の低さから、一部の高温焼結治具やセッタープレートに使用されています。ただし、適切なBNセッタープ…