質量分析計のフィラメントは、イオン源フィラメントまたは陰極フィラメントとも呼ばれます。主にタングステン（W）合金やモリブデン合金などの高融点金属でできています。その機能は一般的なフィラメントと同様で、高圧下で電子を放出し、気体分子をイオンに励起することで、質量分析に必要な電荷質量比信号を生成します。