氮化铝生产炉
森托真空工业公司 (Centorr Vacuum Industries) 宣布已向一家领先的中国 LED 市场氮化铝 (AlN) 基板生产公司订购两台高温烧结炉，将于 2015 年交付。
这些设计包括 CVI 的一台用于氮化铝烧结的 2 立方英尺 (2 立方英尺) 石墨炉，以及一台额定温度为 1850°C 的耐火金属炉，用于二次加热工艺。这些新型烧结炉借鉴了 CVI 在非氧化物陶瓷领域的成功经验，并针对先进陶瓷的高温烧结进行了专门改进。
Centorr 的石墨炉设计包括坚固耐用的石墨管和石墨块元件，最高工作温度可达 2250°C，并配备四面加热区和一体式石墨反应釜，确保卓越的温度均匀性。坚固的石墨隔热设计即使在存在工艺废气和残留粘结剂污染的情况下也能确保长期运行，而全新的双流 Sweepgas® 系统则能够更有效地“清除”工艺废气。炉子控制通过 PLC/可编程控制器进行，并配备 Centorr 定制设计的 HMI 可视化界面。
Centorr Vacuum Industries Sintervac Non-Oxide 设计的容积为 2、3、4.5、9、16、24 和 54 立方英尺。耐火金属炉设计容积为 1 立方英尺，将用于 AlN 工艺中需要非石墨加热区以保持材料清洁度的特定部分。该系统额定温度高达 1850°C，温度均匀性在 +/- 3°C 以内。
Centorr Vacuum Industries 是一家高温真空和可控气氛炉制造商，全球已安装超过 6500 台。其产品范围广泛，从热区面积超过 3m x 3m 的大型商用和生产设备，到温度超过 3500°C 的小型实验室和研发炉。公司位于新罕布什尔州纳舒厄，拥有一支人员齐备的售后现场服务团队和应用技术中心，提供研发支持和代工生产服务。
氮化铝生产炉
