新闻

防静电(ESD)安全微孔陶瓷真空吸盘

ESD(防静电)安全微孔陶瓷板

INNOVACERA ESD(防静电)安全微孔陶瓷真空吸盘(黑色和深棕色)可定制,为薄膜材料的自动化处理或视觉检测提供高性能的吸力和夹持。可满足半导体光刻技术和平板显示器OLED切割的要求。

防静电微孔陶瓷真空吸盘的优点:

  • 可在高真空环境下实现全区域精密吸附夹持;污染小,不损伤晶圆;
  • 吸附力均匀,吸附时不会产生局部受力,使晶圆不会翘曲变形,吸附力持续稳定,可保证晶圆的加工精度;
  • 广泛应用于半导体光刻等工艺;
  • 可吸附金属箔、晶圆、玻璃、树脂膜等导体、半导体、绝缘体等。

相关文章

陶瓷反射器与铝反射器对比:哪种材料最适合您的应用?

反射器是精密设备的关键核心部件,包括工业红外加热器、紫外线固化设备、半导体生产线、医疗光学设备及高功率激光装置。它们聚焦光束并反射能量,其材料性能直接影响设备效率、运行稳定性及使用寿命。 现代工业设备正向着更高功率、更精密及不间断长时间运行…

大型AlN基板的表面粗糙度与翘曲公差应如何指定?

当 DPC 代工厂将一块 138 × 190 × 0.635 mm 的氮化铝基板装入溅射腔体时,这种陶瓷就已不再仅仅是一项材料采购——它已经变成了一个工艺变量。表面粗糙度决定了种子层是否能够均匀附着;翘曲度决定了基板在光刻过程中是否能平贴在…

返回