防静电（ESD）安全微孔陶瓷真空吸盘

INNOVACERA ESD（防静电）安全微孔陶瓷真空吸盘（黑色和深棕色）可定制，为薄膜材料的自动化处理或视觉检测提供高性能的吸力和夹持。可满足半导体光刻技术和平板显示器OLED切割的要求。

防静电微孔陶瓷真空吸盘的优点：

• 可在高真空环境下实现全区域精密吸附夹持；污染小，不损伤晶圆；
• 吸附力均匀，吸附时不会产生局部受力，使晶圆不会翘曲变形，吸附力持续稳定，可保证晶圆的加工精度；
• 广泛应用于半导体光刻等工艺；
• 可吸附金属箔、晶圆、玻璃、树脂膜等导体、半导体、绝缘体等。