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用于PVD设备的氮化硼陶瓷

用于 PVD ​​和 MOCVD 设备的氮化硼绝缘体陶瓷

六方氮化硼具有与石墨相似的微观结构。在这两种材料中,这种由微小薄片层组成的结构具有出色的可加工性和低摩擦性能。我们称之为六方氮化硼 (HBN) 或白色石墨。氮化硼通常被加工以隔离在 PVD ​​设备中工作的组件。它们被安装为 PVD ​​磁控溅射系统中的替换部件。

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