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用于 PVD、CVD 系统的氮化硼(BN)绝缘子 Company
氮化硼具有高介电强度和高化学惰性,非常适合用于在严苛高温环境下(例如 PVD、CVD 和等离子工艺)的各种屏蔽和绝缘部件。 氮化硼部件,例如绝缘导轨、保护管、靶框、屏蔽罩和衬垫,可确保 PVD 电弧始终朝向靶材,从而防止设备损坏。在这些应用中,氮化硼通常用作热解氮化硼的替代品。
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用于PVD设备的氮化硼陶瓷 Company
六方氮化硼具有与石墨相似的微观结构。在这两种材料中,这种由微小薄片层组成的结构具有出色的可加工性和低摩擦性能。我们称之为六方氮化硼 (HBN) 或白色石墨。氮化硼通常被加工以隔离在 PVD 设备中工作的组件。它们被安装为 PVD 磁控溅射系统中的替换部件。