technical ceramic solutions

用于 PVD、CVD 系统的氮化硼(BN)绝缘子

用于 PVD、CVD 和等离子系统的氮化硼板

氮化硼具有高介电强度和高化学惰性,非常适合用于在严苛高温环境下(例如 PVD、CVD 和等离子工艺)的各种屏蔽和绝缘部件。

氮化硼部件,例如绝缘导轨、保护管、靶框、屏蔽罩和衬垫,可确保 PVD ​​电弧始终朝向靶材,从而防止设备损坏。在这些应用中,氮化硼通常用作热解氮化硼的替代品。

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