由于CVD工艺的性质,PBN零件通常要求壁厚不超过3mm。 对于纯度极高的氮化硼来说,PBN也是一个不错的选择。 99.99% 是典型等级。 CVD 工艺使这种热解氮化硼具有近乎完美的层状结构,从而产生各向异性的导热性,使其成为制造晶体生长坩埚的理想材料。
热解氮化硼陶瓷应用:
晶体生长(VGF、LEC 坩埚)
分子束外延(MBE)坩埚
MOCVD加热器
PBN红外窗口
行波管 (TWT) (PBN 支撑杆)
PBN涂层石墨
高温、真空设备绝缘子
热解氮化硼陶瓷特性:
PBN的颜色为象牙色和橙棕色,无毒、无孔、易加工。
纯度高达99.99%,表面致密,阻气性能好。
强度随温度升高而增加,在2200℃时达到峰值。
耐酸、碱、盐、有机试剂。 同时,它不与大多数熔融金属和半导体材料发生反应。
优异的抗热震性、优异的导热性、低热膨胀系数。
高电阻、高介电强度、低介电常数、低损耗因数、优良的微波、红外线能力。
它在力学、热学和电学方面具有各向异性。