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离子源

  • 离子注入机使用陶瓷的优点 Company

    离子注入机作为先进的半导体制造设备,对材料的性能要求非常高。 陶瓷配件作为重要部件,在离子注入机中起着至关重要的作用。   A.离子注入机配件和陶瓷配件的基本特点     离子注入机配件主要采用高纯氮化硅、碳化硅(SiC)、氧化铝、氧化铝/碳化硅微孔陶瓷、氮化铝(AIN)、蓝宝石等陶瓷材料制成,具有以下特点:   1.高硬度、高强度:陶瓷配件具有较高的硬度和强度,在离子注入过程中能承受较高的负荷和磨损…

  • 离子源用氮化铝/氮化硼复合BN-AlN陶瓷部件 Company

    BN-AlN陶瓷是由氮化硼(BN)和氮化铝(AIN)粉末烧结而成。它具有优异的电绝缘性、热导率、高强度、抗热冲击性以及对卤素气体等离子体的强抵抗性,因此具有广泛的应用范围,包括半导体生产设备的组件和需要有效散热的组件。   离子源是一种在真空室中产生原子和分子离子的装置。氮化铝/氮化硼复合材料具有优异的电绝缘性、热导率、对真空的密封能力,并且不会释放出太多气体。因此它在离子源中起着散热器和传热板的作用。     材料优势: …

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