陶瓷-金属真空馈通

陶瓷-金属真空馈通在保持陶瓷与金属组件之间可靠气密结合的同时，将电气引线穿过腔体壁。在半导体、薄膜沉积及真空镀膜设备中，即使是微小的泄漏也会破坏真空完整性、导致批次污染，并引发计划外的生产线停机。 一个常见的工程难题是：馈通往往在制造完成后的室温氦气检漏测试中顺利通过，却在实际使用中经历反复加热与冷却循环后出现灾难性的真空泄漏。根本原因排查往往具有迷惑性：陶瓷绝缘体外观可能完好无损，而微观泄漏通道…