PBN 加热元件

PBN-PG-Heater-Element高纯度、高性能热解氮化硼用作 PBN 加热元件的基材。通过 CVD 方法将热解石墨 (PG) 放置在 PBN 板的表面上，作为导体和加热器。由于 PG 和 PBN 都非常纯净，并且在真空或惰性气体中非常稳定，因此 PBN-PG 加热元件非常耐用，并能保持腔体清洁。它可以在很短的时间内加热到1600°C，并且不会排放任何气体成分。这些加热元件是半导体行业和需…