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PBN-PG 复合加热元件

PBN-PG-Heater-Element PBN-PG-Heater-Element

高纯度、高性能热解氮化硼用作 PBN 加热元件的基材。通过 CVD 方法将热解石墨 (PG) 放置在 PBN 板的表面上,作为导体和加热器。

由于 PG 和 PBN 都非常纯净,并且在真空或惰性气体中非常稳定,因此 PBN-PG 加热元件非常耐用,并能保持腔体清洁。它可以在很短的时间内加热到1600°C,并且不会排放任何气体成分。这些加热元件是半导体行业和需要高温、高真空和高纯度应用的理想产品。

PBN/PG复合加热元件规格

尺寸 1″-4″
体积密度 2.15-2.19 g/cm3
最大工作温度 2400°C
体积电阻率 (Ω·cm) 3.11*1011
抗弯强度 (Mpa) 243.63
热导率 (W/M·k) 43.7-60
介电强度(室温)KV/mm 56

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