PBN-PG-Heater-Element
高纯度、高性能热解氮化硼用作 PBN 加热元件的基材。通过 CVD 方法将热解石墨 (PG) 放置在 PBN 板的表面上，作为导体和加热器。
由于 PG 和 PBN 都非常纯净，并且在真空或惰性气体中非常稳定，因此 PBN-PG 加热元件非常耐用，并能保持腔体清洁。它可以在很短的时间内加热到1600°C，并且不会排放任何气体成分。这些加热元件是半导体行业和需要高温、高真空和高纯度应用的理想产品。
PBN/PG复合加热元件规格
| 尺寸 | 1″-4″ |
| 体积密度 | 2.15-2.19 g/cm3 |
| 最大工作温度 | 2400°C |
| 体积电阻率 (Ω·cm) | 3.11*1011 |
| 抗弯强度 (Mpa) | 243.63 |
| 热导率 (W/M·k) | 43.7-60 |
| 介电强度（室温）KV/mm | 56 |
随着半导体制造工艺不断向更高温度、更高纯度和更复杂的等离子体环境发展，设备内部材料的稳定性和洁净度正成为影响良率和设备寿命的关键因素。在此背景下，氮化硼 (BN) 和热解氮化硼 (PBN) 陶瓷材料的应用正逐渐从传统的耐高温部件扩展到整个工…
PBN 是要求高温高纯度应用的理想选择。PBN 是一种采用 CVD 工艺生长的超纯氮化硼固体。该材料无毒、无孔，具有优异的抗热震性和良好的导热性。 应用领域 MBE 坩埚 MBE 家具 真空炉保温 电绝缘体 LEC、VGF 坩埚 相扑坩埚 …
PBN板可用作绝缘垫、垫片、支架等材料，广泛应用于真空、高温和分子束外延（MBE）设备领域。 热解氮化硼（PBN）是一种白色固体材料，无孔且无毒。氮化硼可以通过压制或烧结方法成型，而高纯度的PBN产品则采用1800℃高温、极低压的气相沉积工…
