{"product_extra_info":"Innovaceraのセラミック製Z軸は、設備設計に対応するため、正方形・長方形・円形の中空断面を持つ長尺中空構造を採用しています。精密加工された外面は、予圧エアベアリング、プローブマウント、リニアスケール、駆動機構、および空気圧カウンターバランスシステムと統合されています。nnガイド面とエアベアリングの間に形成される薄い空気膜により、非接触・低摩擦の運動が実現され、摩耗を低減しながら高速時の滑らかさと繰り返し精度を向上させます。n
製品の特長：
n- ミクロンレベルの幾何精度n- エアベアリングガイドシステム向け設計n- 高剛性中空構造n- 優れた寸法安定性n- 複数の中空断面形状に対応n- カスタム取付穴およびインターフェースに対応nn
nn n
仕様
n
| モデル | 寸法 W × H × L | 平面度 | 平行度 | 直角度 |
|---|---|---|---|---|
| INV0646490-S | 64 × 64 × 900 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm |
| INV0686899-S | 68 × 68 × 999 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm |
| INV0707010-S | 70 × 70 × 1000 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm |
| INV0707012-S | 70 × 70 × 1200 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm |
| INV0707014-S | 70 × 70 × 1400 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm |
| INV0808010-S | 80 × 80 × 1000 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm |
| INV0808012-S | 80 × 80 × 1200 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm |
| INV0808014-S | 80 × 80 × 1400 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm |
n
用途：
n
三次元測定機
nブリッジ型、ガントリー型、および高精度スキャニングCMMに適しており、セラミック製Z軸クイルまたは精密エアベアリングガイドビームとして使用できます。n
精密エアベアリング運動プラットフォーム
n低摩擦、高い位置決め繰り返し精度、および安定したリニア運動を必要とするエアベアリングプラットフォームに適しています。n
半導体検査装置
nウェーハ検査、パッケージ検査、精密アライメント、および高精度ビジョン計測プラットフォームにおける運動構造部品として適しています。ファインセラミックスの寸法安定性、機械的精度、および低熱膨張性は、高精度半導体装置に非常に適しています。n
光学・レーザー計測装置
n光学計測プラットフォーム、レーザー干渉計、輪郭測定器、真円度測定器、および精密スキャニング装置に適しています。n
超精密工作機械
n超精密加工装置、精密位置決めプラットフォーム、および非接触運動システムにおけるセラミック製ガイド部品として適しています。n
精密加工と品質管理
n長尺中空セラミックZ軸部品の製造には、材料特性の管理、焼結変形の制御、複数面の協調加工、および長距離にわたるミクロンレベルの検査が必要です。n
CMMまたはエアベアリングプラットフォーム向けカスタムセラミックZ軸ソリューション
n製品図面、運動ストローク、エアベアリング構造、および幾何精度要件をご提供ください。Innovaceraのエンジニアリングチームが、材料、中空構造、加工基準、および検査計画の評価をお手伝いいたします。"}
声明：これはINNOVACERA®のオリジナル記事です。転載する際は、出典リンクを明記してください：https://www.innovacera.com/ja/product/alumina-ceramic-z-axis-guide
よくある質問
CMM の Z 軸クイルにアルミナセラミックを使用する理由は何ですか？測定精度はどのように向上しますか？
アルミナセラミックは、金属や花崗岩と比較して、優れた寸法安定性、高い剛性対重量比、および低い熱膨張率を実現します。軽量な中空クイルとして設計されており、高速スキャン時の慣性および曲げ変形を最小限に抑えます。エアベアリングと組み合わせることで、精密ラップ加工された表面が、平面度・平行度 ≤ 3 μm、直角度 ≤ 2 μm というミクロンレベルの幾何学的精度を達成し、座標測定機（CMM）およびレーザー計測システムに対して摩擦のない再現性の高い運動を提供します。
エアベアリングプラットフォーム向けにカスタムセラミック Z 軸ガイドビームを購入できますか？メーカーに必要なパラメーターは何ですか？
はい、超精密セラミックメーカーとして、INNOVACERA は最大 1400 mm の長さで、正方形・長方形・円形の中空ボアを持つカスタム設計のアルミナセラミック Z 軸クイルをご提供しています。取り付け穴パターン、カウンターバランスインターフェース、およびリニアスケール基準面のカスタマイズにも対応しております。価格見積もりおよび技術評価をご依頼の際は、2D／3D CAD 図面、動作ストローク、ペイロード要件、および幾何公差目標値をご提供ください。
