フィラメント支持用メタライズアルミナセラミック管

本製品は、通電加熱によって電子を放出する熱陰極フィラメントのほか、陰極の加熱・ベーキングに使用するヒーターフィラメントにも適用できます。いずれの場合も、高温かつ通電状態のフィラメント周辺で電気的絶縁を確保しながら、組立に必要な位置保持を行います。

フィラメント支持機能

熱陰極フィラメント

電子放出に使用する通電加熱フィラメントを支持し、周囲の金属構造から電気的に絶縁します。

ヒーターフィラメント

陰極の加熱やベーキングに使用するヒーター線を支持し、通電ヒーターと装置構造の間をセラミックで絶縁します。

技術特長

1. 通電フィラメントの電気絶縁

アルミナセラミックによって通電状態のフィラメントやヒーター部を接地された金属部品から分離し、真空装置内での短絡や漏電リスクの低減に寄与します。

2. 高温環境での安定した支持

繰り返し加熱を受けるフィラメント周辺でも、セラミック管が機械的位置を保持しながら絶縁機能を維持します。

3. ろう付け可能なMo-Mnメタライズ部

必要箇所に限定したMo-Mnメタライズにより、金属リード、ホルダー、ベースとのろう付け接合面を形成できます。セラミック全体を金属化する必要はありません。

4. セラミック金属気密接合への対応

メタライズ部は、電気接続部または機械接続部で真空気密性が必要なセラミック金属ろう付け構造に組み込むことができます。

5. フィラメント位置決めに対応する精密形状

管長、内径・外径、穴、段差、局所形状を、電極間距離やフィラメント取付条件に合わせて加工できます。

6. 用途に応じたメタライズ設計

ろう付け面積、絶縁距離、組立手順、金属側インターフェースに合わせて、メタライズ位置と範囲を調整できます。

主な用途

電子ビーム蒸着源・電子銃

電子ビーム蒸着源や電子銃では、電子銃用セラミック部品としてフィラメントまたはヒーターを支持し、通電部を金属ベースや周囲の構造から絶縁します。メタライズ部は金属リードや取付部品とのろう付け接合面となり、高真空下でフィラメント位置と真空気密性を維持する構造に使用できます。

SEM・電子ビーム溶接装置

走査電子顕微鏡（SEM）や電子ビーム溶接装置の電子源内部で、フィラメント支持柱または絶縁部品として使用されます。アルミナセラミックが電気絶縁と熱的安定性を確保し、メタライズ部は周囲の金属構造とのろう付け接合に使用されます。

イオン源・イオン注入装置

イオン源およびイオン注入装置では、イオン源用セラミック部品としてフィラメントやヒーターを支持します。通電部を接地部品から絶縁し、高真空下で金属部品とのろう付け接合が可能なメタライズ面を提供します。

真空成膜・CVD・PVD装置

真空コーティング、CVD、PVD装置では、真空用セラミック部品として内部加熱部や電子放出部に使用されます。フィラメント支持、電気絶縁、真空対応のセラミック金属接合が必要な構造に適し、高温運転時の絶縁を維持します。

マイクロ波管・電真空デバイス

マイクロ波管やその他の電真空デバイスで、フィラメント支持用の絶縁部品として使用されます。小型構造で電位差、高温、真空環境に対応し、局所メタライズ部を金属部品とのろう付け接合面として利用できます。

メタライズセラミック管のご相談

技術検討のため、図面とご希望数量をお送りください。図面には、全寸法・寸法公差、メタライズ範囲、メタライズ層の検査基準、および引張密着強度の要求値をご明記ください。