窒化ホウ素

窒化ホウ素は白黒鉛と呼ばれ、構造は黒鉛と似ており、良好な電気絶縁性、熱伝導性、優れた熱衝撃耐性と化学安定性を持っています。窒化ホウ素セラミックスは、窒化ホウ素粉末を顧客の要求する寸法規格に従って、熱圧焼結により製品ブロックに加工します。 動作温度が1500℃より明らかに高い高温炉の設計には、炭素、タングステンからなる加熱素子が採用されています。通常、これらの素子は高温酸化物セラミックスを用いて炉側と電気的に絶縁されています。 この分野では、チューブ、ガスケット、スリーブ、絶縁…

蒸着技術といえば、物理蒸着（PVD）、原子層蒸着（ALD）、化学蒸着（CVD）を挙げることができます。窒化ホウ素 (BN) セラミックスはその汎用性と特性から、PVD、ALD、CVDシステムにおける重要な構成要素となっています。 ここでは、これらのシステムにおけるBNセラミックスの役割について述べたいと思います。     窒化ホウ素セラミックス格子状に配列したホウ素原子と窒素原子からなります。 六方格子の形（HBN）で存在することもあり、これは黒鉛に…