PVD ALD

蒸着技術といえば、物理蒸着（PVD）、原子層蒸着（ALD）、化学蒸着（CVD）を挙げることができます。窒化ホウ素 (BN) セラミックスはその汎用性と特性から、PVD、ALD、CVDシステムにおける重要な構成要素となっています。 ここでは、これらのシステムにおけるBNセラミックスの役割について述べたいと思います。     窒化ホウ素セラミックス格子状に配列したホウ素原子と窒素原子からなります。 六方格子の形（HBN）で存在することもあり、これは黒鉛に…