氮化硼陶瓷坩埚

氮化硼的突出特点>

• 热膨胀系数好，抗热震性好。
  导热系数是石英的10倍，可降低因温度急剧变化而破裂的风险。所以即使经过20~1200℃多次循环也没有问题。
• 氮化硼与酸、碱、玻璃、大部分金属均不发生反应，机械强度较低，仅略高于石墨，但在高温下没有荷重软化现象，可用一般金属加工机加工。适用于熔炼、蒸发金属坩埚、器皿、液态金属输送管道、铸钢模具等。

氮化硼坩埚的分类

• PBN坩埚
  PBN坩埚无需经过传统的热压烧结工艺，也不需要添加任何烧结剂，纯度高（99.99%以上），真空下工作温度高达1800度，气氛保护下工作温度可达2100度（通常为氮气或氩气），多用于蒸发/分子束外延（MBE）/GaAs晶体生长。
• 烧结BN坩埚
  烧结BN坩埚是以六方氮化硼与烧结助剂（Y2O3等）为原料，经成型后高温烧结而成。
  具有良好的耐热性、热稳定性、热导率、高温介电强度。因此能抵抗大部分熔融金属的侵蚀。
  烧结BN坩埚含有烧结助剂（1~6wt%），纯度不如PBN坩埚高。适合制作大尺寸坩埚。在氩气或氮气等惰性气体中使用最高温度为2800℃；在氧气中稳定性较差，只能在900℃以下使用。

氮化硼坩埚的应用

• 作为半导体制造工艺等严格环境条件下使用的材料，非常合适。 Ⅴ族半导体：砷化镓、磷化镓、磷化铟。
• 还可制作绝缘材料或各种加热器的玻璃器具、加热管套以及高温高频、高压散热材料。