陶瓷微孔吸盘台采用微孔陶瓷材料经特殊工艺制成,孔径分布均匀,内部连通,研磨后表面光滑细腻,平整度好。
广泛应用于半导体、电子器件、薄膜制品等需要真空吸盘设备的行业。
以下是详细应用案例
1. 半导体及微电子
. 晶圆切割。
. 晶圆研磨。
. 晶圆清洗。
. 晶圆AOI检测。
2. 显示面板及移动电子产品
.LCD离型膜、AOI检测。
.OLED激光切割、AOI检测。
.触控面板OCA贴合。
3.光伏及新能源
.光伏薄膜转移与压合
.激光焊接固定
.单/多晶硅搬运
4.柔性电路
.PI薄膜转移与压合
.PI薄膜AOI检测
5.精密制造
.视觉检测固定
.激光加工固定
.金属箔搬运与固定
.真空室内输送与固定
.易碎材料搬运与固定
.多孔透气材料搬运与固定

陶瓷微孔卡盘