
氧化铝陶瓷是目前最坚固的陶瓷之一。氧化铝陶瓷具有优异的性能,使其成为结构、磨蚀和腐蚀环境中使用最广泛的陶瓷之一。此外,高纯度氧化铝陶瓷具有优异的电性能,是半导体腔体应用的首选材料之一。
广泛应用于半导体设备的腔体部件、晶圆传送部件、FPD制造设备部件以及耐热和电绝缘部件
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