氧化铝陶瓷是目前最坚固的陶瓷之一。氧化铝陶瓷具有优异的性能,使其成为结构、磨蚀和腐蚀环境中使用最广泛的陶瓷之一。此外,高纯度氧化铝陶瓷具有优异的电性能,是半导体腔体应用的首选材料之一。
广泛应用于半导体设备的腔体部件、晶圆传送部件、FPD制造设备部件以及耐热和电绝缘部件
氧化铝陶瓷是目前最坚固的陶瓷之一。氧化铝陶瓷具有优异的性能,使其成为结构、磨蚀和腐蚀环境中使用最广泛的陶瓷之一。此外,高纯度氧化铝陶瓷具有优异的电性能,是半导体腔体应用的首选材料之一。
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厦门英诺华可以根据不同产品和使用场合的要求,通过调整配方和工艺以满足客户对氧化铝陶瓷零件产品的要求。
氧化铝陶瓷 (Al₂O₃) 基座/半导体陶瓷零件和喷嘴因其优异的电气、热学和机械性能而广泛应用于半导体工艺设备,如注入机设备和电子发生器组件。氧化铝陶瓷基座具有非常好的电绝缘性和高导热性,这使其在半导体行业中发挥着非常重要的作用。
INNOVACERA 生产各种 PBN 陶瓷组件,包括圆盘、薄片、灯丝环、VGF 坩埚、LEC 坩埚、MBE 坩埚、锥形坩埚和定制加工零件。