无阀陶瓷泵专为中试工厂流体控制而设计。泵的内部组件采用蓝宝石般坚硬的材质，消除了依靠阀门和弹性体（柔性管和隔膜）输送流体的泵送系统常见的精度漂移。无阀旋转/往复式活塞设计无需使用止回阀，止回阀可能会随着时间的推移而堵塞、泄漏或失效。因此，流体控制无需维护，且无漂移，在数百万次循环中仍能保持 1% 或更高的精度。流量可通过标准工业控制协议进行机械和/或电子无级控制。流量控制不受粘度影响，从而提高了流量稳定性。我们提供各种型号的泵，每次分配量低至 5 µL，最高可达每分钟 4 L 的连续计量。
陶瓷-金属真空馈通在热循环后为何发生泄漏？
陶瓷-金属真空馈通在保持陶瓷与金属组件之间可靠气密结合的同时，将电气引线穿过腔体壁。在半导体、薄膜沉积及真空镀膜设备中，即使是微小的泄漏也会破坏真空完整性、导致批次污染，并引发计划外的生产线停机。 一个常见的工程难题是：馈通往往在制造完成后…
