ニュース | 厦門英诺华（イノファ）新材料有限公司

水平型と遊星型ボールミルの違いは何ですか？

ジルコニアセラミックボールミルジャーは、あらゆる種類の粉砕・混合装置の一部です。様々な種類のボールミルジャーがありますが、主に横型と遊星型ボールミルが使用されています。では、これら2種類のボールミルの違いを理解し、用途に適した装置を選定しましょう。

遊星サンドミル装置

遊星ボールミルは効率的なボールミル装置であり、その粉砕原理は、粉砕槽を遊星として、遊星と粉砕ボールの相互作用、そして槽内の粉砕ボールの高速運動と試料または研磨剤との摩擦・衝突によって粉砕目的を達成するというものです。遊星ボールミルは、高純度材料の製造、細胞粉砕などの分野に適しており、最大の利点は粉砕効率が高く、粉砕粒子径を調整できることです。

H水平サンドミル装置

横型サンドミル装置はローラーサンドミルの一種で、一般的な粉砕装置です。粉砕原理は、研磨剤とサンプルをサンダータンクに入れ、研磨ディスクの回転によって研磨剤とサンプルを混合粉砕することで、研磨目的を達成します。横型サンドミルは、顔料、塗料、医薬品、食品などの分野に適しています。遊星ボールミルと比較すると、横型サンドミルは硬い材料を粉砕できますが、粉砕効率が低く、粉砕サイズの調整が容易ではありません。

水平型ボールミルと遊星型ボールミルの違い

動作原理：遊星ボールミルは遊星と研削ボールの相互作用によって研削しますが、水平サンダーは研削ディスクの回転によって研削します。

応用分野：遊星ボールミルは高純度材料の製造や細胞粉砕などの分野に適しています。水平サンドミルは顔料、コーティング、塗料、医薬品、食品などの分野に適しています。

粉砕効率：遊星ボールミルの粉砕効率は高く、粉砕サイズを調整できます。水平サンドミルの粉砕効率は低く、粉砕粒子サイズの調整は容易ではありません。

まとめると、遊星ボールミルと横型サンドミルの応用分野、動作原理、そして粉砕効率は大きく異なります。粉砕装置を選択する際には、具体的な粉砕ニーズに合わせて選定する必要があります。セラミック製粉砕ボールジャーに関する詳細については、sales@innovacera.com までお気軽にお問い合わせください。

ウェーハカバープレートヒーター用途における窒化アルミニウムセラミックスのメリット

半導体製造プロセスにおいて、窒化アルミニウムセラミックウェーハカバープレートはウェーハを搬送するための重要な部品であり、その性能はウェーハの品質と処理効率に直接影響します。

窒化アルミニウムセラミックス（Aluminum Nitride Ceramic）は、優れた熱伝導性、電気絶縁性、機械特性を備えた新しいタイプのセラミック材料です。熱伝導率は320W/m·Kに達し、アルミナセラミックスの10倍以上です。電気絶縁性は10^13Ω·cm以上、曲げ強度は350MPa以上に達します。これらの優れた特性により、窒化アルミニウムセラミックスは半導体製造分野において幅広い応用の可能性を秘めています。

ウェーハ カバープレート 用途における窒化アルミニウムセラミックのメリット

高い熱伝導率

半導体製造プロセスでは、フォトリソグラフィー、エッチング、イオン注入など、高温環境でウェーハを処理する必要があります。窒化アルミニウムセラミックスの高い熱伝導性により、ウェーハが短時間でプロセスに必要な温度に達することが保証され、生産効率が向上します。同時に、高い熱伝導性はウェーハの温度を均一にし、熱応力を軽減し、ウェーハの品質を向上させるのにも役立ちます。

優れた放熱性能

ウェーハ処理プロセスでは、レーザーエッチング、プラズマエッチングなど、大量の熱が発生します。窒化アルミニウムセラミックの優れた放熱性能により、熱を環境に素早く伝達し、ウェーハの温度が高くなりすぎるのを防ぎ、熱損傷のリスクを軽減し、ウェーハ処理の品質を向上させます。

高い電気絶縁性

半導体製造プロセスでは、ウェーハ表面にフォトレジストや反射防止膜などの導電性材料が塗布されます。窒化アルミニウムセラミックスの高い電気絶縁性は、ウェーハ表面とトレイ間の電荷蓄積を効果的に防止し、放電を回避し、ウェーハ処理品質を向上させます。

良好な機械的特性

窒化アルミニウムセラミックスは高い曲げ強度と硬度を有しており、ウェーハプレートの輸送・積載時の摩耗や割れを抑制し、ウェーハプレートの耐用年数を向上させます。さらに、窒化アルミニウムセラミックスの線膨張係数はシリコンウェーハと同等であるため、熱応力を低減し、ウェーハの反りリスクを低減します。

耐食性

半導体製造プロセス中、ウェーハカバープレートはフォトレジスト、エッチング液などのさまざまな化学試薬にさらされます。窒化アルミニウムセラミックは耐食性に優れており、これらの化学試薬による浸食に耐えることができ、ウェーハプレートの安定性と耐用年数を保証します。

無公害

窒化アルミニウムセラミックスは化学的安定性に優れ、ウェハ表面の材料と反応しないため、不純物の発生を防ぎ、ウェハ処理の品質を確保します。同時に、窒化アルミニウムセラミックスの製造プロセスは環境に優しく、半導体製造業界全体の炭素排出量の削減に貢献します。

窒化アルミニウムセラミックスは、ウェーハカバープレート材料として、高い熱伝導率、優れた放熱性能、高い電気絶縁性、良好な機械的特性、耐腐食性、無公害性などの利点を有しています。半導体製造分野において、窒化アルミニウムセラミックスウェーハカバープレートの適用は、生産効率の向上、コスト削減、水質改善など、重要な実用的意義を有しています。当社は、窒化アルミニウムとホットプレス窒化アルミニウムの2種類の窒化アルミニウムセラミックスを提供しています。主な違いは純度で、ホットプレスALNはALNよりも純度が高く、熱伝導率も異なります。

窒化アルミニウムセラミックについてご質問がございましたら、sales@innovacera.com までお問い合わせください。

窒化ケイ素セラミックの使用

窒化ケイ素セラミック は、ケイ素と窒素原子で構成されています。体積密度は約3.26g/cm、硬度は1600MPa以上です。

材料特性は次のとおり:

上記の材料特性により、さまざまな用途で価値あるさまざまな特性を備えています。

1. 軽量: 鋼材と比較して、窒化ケイ素セラミックは約60%軽量です。この特性は、軽量化が重要な用途において有利です。

2. 高温安定性: 窒化ケイ素セラミックは、機械的特性を失うことなく高温に耐えることができます。1000℃を超える温度でも強度と完全性を維持し、最高動作温度は1650℃です。

3. 機械的強度: 窒化ケイ素チューブは、高い硬度、強度、靭性など、優れた機械的特性を備えています。大きな荷重に耐え、破損しにくいため、バルブなどの要求の厳しい用途の構造部品に最適です。

4. 電気絶縁:窒化ケイ素セラミックは、高い誘電強度と低い電気伝導性を備えた優れた電気絶縁体です。

軽量、高温安定性、機械的強度、化学的不活性に加え電気絶縁性などの特性を持ち、多くの用途があります。

*ボールベアリングと転動体: 窒化ケイ素製のボールとローラーは、高速回転、高温、耐腐食性が求められるベアリングに使用されます。従来の鋼製ベアリングと比較して、優れた硬度と低摩擦性を備えています。

*ガスタービンおよび航空宇宙部品:窒化ケイ素部品は、優れた耐熱衝撃性、高温強度、軽量特性を備えているため、ガスタービンや航空宇宙産業で使用されています。

*エレクトロニクスおよび半導体産業: 窒化ケイ素は、電子機器や半導体製造における絶縁材料として用いられています。優れた電気絶縁性、高温安定性、化学的不活性性から、絶縁層や基板などの部品に利用されています。

*高温炉部品: 熱電対保護管、輻射管、加熱要素などの窒化シリコン部品は、極端な温度や熱サイクルにも劣化することなく耐えられるため、高温炉、窯、加熱要素の構築に使用されます。

窒化ケイ素セラミックは上記の産業で使用されてきました

優れた強度、靭性、耐熱衝撃性、耐腐食性といった特性により、要求の厳しい用途に最適です。半導体産業から航空宇宙部品に至るまで、窒化ケイ素セラミックスは信頼性と長寿命を提供し、性能と効率の向上に貢献しています。しかしながら、加工コストの高さと機械加工の難しさが、その広範な採用を阻んでいます。それでも、当社のエンジニアリングチームはこれらの課題を解決し、様々な分野における窒化ケイ素セラミックスの更なる可能性を解き放つべく、研究開発に継続的に取り組んでいます。

四重極質量分析用四重極セラミックカラー

当社はテクニカルセラミックソリューションの製造で 10 年を超える経験を持ち、セラミック絶縁体コンポーネント、セラミックカラー、セラミックスクエアフレーム、セラミックサドル、セラミックロッド、セラミックフィラメントサポート、セラミックオリフィスプレート、セラミックヒーターなどの四重極質量分析セラミックコンポーネントを専門としています。

QMS四重極質量分析法は、イオンが四重極場を通過する際に質量電荷比（m/z）に基づいてフィルタリングされる分析技術として広く用いられています。四重極は、写真に示すように、放射状に配列された特定の長さの4つの電極で構成されています。これらのセラミック絶縁体コンポーネントは、ゼロックススキャン質量分析装置に使用できます。

お客様の四重極質量フィルタ設計の検証・試作段階で使用されるセラミック絶縁部品の少量生産をサポートいたします。セラミック材料と設計はカスタマイズ可能です。標準カラーは99.5%アルミナセラミック製で、サイズは36.4×36.4×12mmです。電極ロッドはモリブデン製です。

カラーは円形やその他のカスタムデザインにも対応可能です。図面をお送りいただければ、すぐに製作いたします。

当社は、プラスチックや金属が抱える問題を解決する幅広い材料を提供しています。セラミックは、分析機器に必要な機械的、電気的、熱的、その他の特性を提供するのに最適です。99.5%アルミナや金属シールを備えた95%セラミックなどの材料で作られた部品は、プラスチックや金属が抱える問題を解決します。

参考までに、99.5 アルミナセラミック材料の特性を以下に示します。

99.5アルミナセラミック材料の特性
項目	値
主な構成	Al2O3>99.6%
密度	>3.95
硬度 (Gpa)	15~16
室温電気抵抗率 (Ω·cm)	>10 ¹⁴
最高使用温度(℃）	900.00
3点曲げ強度 (MPA)	450.00
圧縮強度 (MPA)	45.00
ヤング率 (Gpa)	300-380
熱膨張係数(20-1000℃)(10-6/K)	6~8
熱伝導率 (W/m·k)	30.00
絶縁耐力(kv/mm)	18.00
誘電率	9~10
誘電損失角 (*10-4)	2.00
表面粗度	<Ra0.05um

四重極セラミックカラー 特徴:

四重極磁石アセンブリ内での正確なアライメントと位置決めを確保します。
磁場への電気的干渉を防止します。
耐久性と長寿命を確保します。
粒子ビームの正確な制御を確保します。
ガス放出率が低いため、粒子加速器などの高真空環境に適しています。

カスタマイズされたサービスにより、お客様は特定の技術的および商業的ニーズに合わせて設計に高度な柔軟性を得ることができます。四重極セラミックカラーやセラミック部品に関連するその他の質量分析計が必要な場合は、sales@innovacera.com までお問い合わせください。

質量分析計用MCHヒーター

質量分析計は、質量と電荷の比に基づいて電磁場内で気体イオンを配列することにより、化学物質を分析および識別する技術です。

質量分析計はボーリング孔1本あたりほとんどの分析対象物質を検出できるため、汚染のない熱源が不可欠です。さらに、機器設計においては、サイズと複雑さを軽減しながら感度を向上させるという相反する要件を満たすことが求められています。

質量分析計の加熱素子は、ソースヒーターまたはガスラインヒーターとも呼ばれ、質量分析計において、サンプル（通常は水溶液または有機溶媒）を分析用の蒸気に変えるために使用されます。分析部と検出器部の前段では、ヒーターはサンプル調整システムの一部であり、そこで気化したサンプルはイオン化された高エネルギー電子によって照射され、分析されます。

質量分析計に使用されるヒーターは、コンパクトな設計で、かなり高い電力密度を提供します。応答速度が速く、最高400℃の温度で動作します。正確な制御と温度制限のために、内部に温度センサーが組み込まれています。

INNOVACERAの優位性

新規設計のエンジニアリングサポート
ラピッドプロトタイピング
交換部品

当社 さまざまな質量分析計メーカーおよびモデル向けの OEM および交換用ヒーターを製造しています。

MCHヒーターの利点

MCHセラミック発熱体は、高効率、環境に優しく、省エネです。セラミック発熱体は、主に最も広く使用されている合金線発熱体とPTC発熱体およびコンポーネントの代替として使用されます。

技術的特徴:

省エネ、高熱効率、PTCに比べて単位発熱量の20～30%削減。
表面は安全で帯電せず、優れた絶縁性能を備え、4500V/1Sの電圧試験に耐え、絶縁破壊がなく、リーク電流は0.5mA未満です。
インパルスピーク電流がなく、電力減衰がなく、急速加熱が可能で、裸火を使用せずに安全です。
優れた熱均一性、高い電力密度、長寿命です。

結論

MCHヒーターは、コンパクトな設計、急速加熱、精密な温度制御、そしてエネルギー効率を実現することで、性能に革命をもたらしました。これらの高度な加熱素子により、質量分析計は汚染のない熱源を備え、精度と効率性が向上します。

MCH ヒーターについてご質問がございましたら、sales@innovacera.com までお問い合わせください。

PBNヒーターはどのように機能しますか？断熱材は何ですか？

PBNヒーターとは何ですか？

PBN材料とは、CVD高温堆積法で得られる熱分解窒化ホウ素材料を指します。BNは、ホットプレス法で得られる立方晶窒化ホウ素を指します。
The common thickness of PBN parts is less than or equal to 3mm due to the different acquisition processes.

PBN ヒーター とは、PBN 基板上にグラファイトの薄層を堆積し、機械加工（レーザー彫刻）によりグラファイト帯を形成したグラファイトヒーターを指します。

最後にグラファイト層をPBNカバー層（電極部分が露出した層）で覆い、グラファイトヒーターが完成します。

処理方法はいくつありますか?

一般的に、2つの方法があります：

1^番目: PBNシートに良好な溝を作り、熱分解グラファイトでコーティングします。次に、PBNコーティング層を追加します（PBNディスクで刻まれた回路の外側に、熱分解グラファイトを堆積させ、さらにPGの表面にPBN層を堆積させます）。厚さは約mmで、電圧と電流を調整し、最後にグラファイト層を追加します。

厚さは約3mm程度で、電圧と電流はお客様のご要望に応じて調整しますが、低電圧・高電流、高速加熱が推奨されます。

2^番目: グラファイトトラフが良好で、次にトラフの両面に PBN をコーティングしますが、グラファイトを加熱装置として使用すると、交流加熱により磁気共鳴が発生し、PBN コーティングが剥がれやすくなります。そのため、この製造方法は推奨されません。

一般的には最初の方法に従って、この製造方法は推奨されません。

したがって、基板および絶縁被覆層は PBN であり、発熱体はグラファイトテープであることがわかります。

なぜこのように製造されるのでしょうか?

グラファイトまたは熱分解グラファイトで表面をコーティングしたグラファイトは、加熱分野で広く使用されていますが、真空および高温条件下ではグラファイトが不純物を析出し続け、超高純度材料を汚染します。そこで、非多孔性で熱膨張係数が低い窒化ホウ素（PBN）の利点を活かし、グラファイト外層にPBNコーティングを施すことで、グラファイトによって析出した不純物を遮断し、超高純度材料の汚染を防ぎます。コーティング後のグラファイトは、何度も加熱されても、窒化ホウ素の表面層が剥がれにくい構造となっています。

メリット:

PBN加熱パッドは化学的安定性、耐腐食性などの利点を有し、一般的にサンプルの最高加熱温度は約1200℃で、E-5mbarの酸素雰囲気下で動作可能です。

動作中は、PBNカバー層とグラファイト層の剥離による急激な温度上昇や温度低下を避けるように注意する必要があります。また、電極間の電気的接触が良好であることも確認し、接触部の過熱や電極の損傷を防ぐように注意する必要があります。

パフォーマンス特性を要約する:

-真空中の最高温度 1650℃

-空気中の最高温度 300℃（非推奨）

-高真空、超高圧、腐食性環境

-非常に速い昇温速度、非常に低い質量

-非常に不活性

-PG素子はPBNで包まれており、堆積生成物の影響を受けません

-サンプルは加熱されたセラミック素子プレートに直接置くことができます

-サイズは最大4インチ角または円形

ご質問や大型ヒーターのご要望がございましたら、お気軽にテクニカルセールスチームまでお問い合わせください。カスタマイズも可能です。

メールアドレス: sales@innovacera.com

電話番号: 0086 0592 5589730

中国、半導体産業向けセラミックヒーターの国産化を推進中

中国が半導体技術の自給自足を推進する中、国内メーカーは先進的なセラミックヒーターの生産に注力しています。セラミックヒーターは半導体製造装置の重要な部品であり、主要な半導体製造プロセスにおける正確な温度制御を担うため、現代の半導体製造工場には欠かせない存在となっています。

AlNヒータープレート

半導体製造においてセラミックヒーターが重要な理由は何でしょうか？

半導体製造においては、ウェハは薄膜堆積（CVD、PECVD、ALD）やエッチングなどのプロセスを経て、極めて精密かつ均一な加熱処理を受けます。従来の金属ヒーターは、熱膨張とパーティクル汚染のリスクにより、高温（500℃以上）では限界があります。

窒化アルミニウムヒーター

性能比較：窒化アルミナ（AlN）ヒーターとアルミナヒーター

No	特徴	アルミナヒーター	窒化アルミナ（AlN）ヒーター
1	動作温度	R.T ~ 450 °C (Max)	R.T~800℃
2	融点	660.25℃	1800 °C (Sintering Temp.)
3	熱伝導率	230 W/m·K	170–220 W/m·K
4	熱膨張係数	23.6 × 10⁻⁶ /°C	4.03 × 10⁻⁶ /°C

セラミックヒーターのメリット

窒化アルミナ (AlN)、窒化ケイ素 (Si₃N₄)、またはアルミナ (Al₂O₃) から作られたセラミックヒーターは、優れた性能を発揮します。

– 高い熱伝導率により、ウェハー全体に均一な熱分散を保証します。

– 優れたプラズマ耐性を有し、過酷な半導体処理環境にも耐えます。

– 熱膨張率が低いため、反りを防ぎ、ナノメートル規模のチップ製造の安定性を確保します。

ALN ヒーター

セラミックヒーターの製造工程

セラミックヒーターは、通常、ウェハ載置面を備えたセラミック基板と、その裏面に円筒状の支持体を備えています。セラミック基板には、抵抗加熱回路に加え、RF電極や静電チャック電極などの導電性素子が埋め込まれているか、または印刷されています。

特許CN104582019Aによれば、このプロセスには以下が含まれます。

1.窒化アルミニウム粉末と酸化イットリウムをボールミルで混合し、スプレー乾燥してグリーン体に成形します。

2.脱脂、焼結して焼結体を形成します。

3.導電性ペースト（タングステン、モリブデン、タンタル）をスクリーン印刷して抵抗加熱回路を形成します。

4.セラミック基板をAlN系接合材で接合し、円筒状の支持体を取り付けます。

5. 外部電源端子に接続する抵抗発熱体を露出させるために皿穴を追加します。

この方式により、渦流または同心円状の回路パターンが可能になり、信頼性の高い加熱性能が保証されます。

ALN ヒーター

中国のローカライゼーション推進

かつては輸入に頼っていた中国企業は、現在、独自のセラミックヒーターソリューションを急速に開発しています。弊社などの企業は、シリコンに近い熱膨張特性と高温耐性が評価されているAlNベースのヒーターで画期的な進歩を遂げています。

窒化アルミニウムセラミックスヒーターの世界市場は、先進半導体の需要増加を背景に、年間10%の成長率で成長し、2031年には7,850万米ドルに達すると予測されています。しかしながら、リーク電流制御やRF電極の統合といった課題が、依然として普及を阻んでいます。

今後の展望

「セラミックヒーターの生産現地化は、中国の半導体サプライチェーンの安全性確保にとって極めて重要だ」と業界関係者は述べた。中国は研究開発への投資を増やすことで、海外サプライヤーへの依存を減らし、ハイエンド半導体装置製造における地位強化を目指しています。

BNセラミックノズルの応用

BNは、化学的、電気的、機械的、熱的特性のユニークな組み合わせを備えたホットプレス六方晶窒化ホウ素です。高性能が要求されるさまざまな用途に適しています。
BNセラミックノズルは、航空宇宙や半導体などのさまざまな高温・高性能産業で使用されており、以下の独自の特性により近年大きな注目を集めています。

BN ノズル

1. 優れた熱安定性
融点が約2900℃のBNセラミックノズルは、高真空および不活性ガス環境において、1800℃と2100℃の温度範囲で使用できます。

2. 耐熱衝撃性
BNノズルは、急激な温度変化にも割れることなく耐えることができます。そのため、温度変化が激しい場所でも使用できます。

3. 優れた耐腐食性
窒化ホウ素セラミックは、酸やアルカリなどの化学的腐食に対して高い耐性を備えています。ノズルを取り扱う物質から保護し、汚染のリスクを低減し、寿命を延ばします。

4. 自己潤滑性
BN材料は自己潤滑性を有しています。溶融材料がノズルに付着するのを防ぎ、目詰まりを防ぎ、スムーズな材料の流れを確保します。

5. 電気絶縁性
BNは優れた電気絶縁体であるため、高電圧やプラズマなどの用途に適しています。

窒化ホウ素ノズル

材料特性

材料構成	BN+ZrO2	99 BN
密度	2.8g/cm2-2.9g/m3	2g/cm
色	ホワイトグラファイト	白
曲げ強度	90MPa	35MPa
圧縮強度	220MPa	85MPa
熱伝導率	30W/(m.k)	40W/(m.k)
熱膨張係数 (20-1000°C)	3.5 10-6/K	1.8 10-6/K
最高使用温度	不活性ガス中1800 °C	不活性ガス中 2100 °C
	高真空中 1800 °C	高真空中 1800 °C
	大気中 900 °C	大気中 900 °C

弊社は並外れた熱安定性、優れた耐熱衝撃性、抜群の電気絶縁性、化学的不活性性、潤滑性などの特性を備え、金属およびガラス加工ノズル、3D 印刷、半導体、航空宇宙産業向けのノズルなど、一連の新製品を開発しております。

1. 金属・ガラス加工
BNノズルは、金属鋳造やガラス製造において、高温の溶融金属やガラスにさらされる用途で広く使用されています。BNは溶融金属やガラスに対する高い耐湿性を備え、化学物質との反応もないため、スムーズな流れと目詰まりの防止を実現します。金属・ガラス加工用ノズルをお探しなら、BNは最適な選択肢です。

2.3Dプリンティング
金属3Dプリンティングでは、粉末材料や溶融金属を吐出するためにBNノズルが使用されます。BNノズルは熱安定性と低摩擦特性を備えているため、材料の流れが一定に保たれ、機器の摩耗が軽減され、プリント品質が向上します。

3. 半導体産業
半導体産業では、BNノズルは化学気相成長（CVD）や一部の高温プロセスに使用されています。過酷な条件下でも化学反応を起こさないため、反応性ガスの取り扱いや精密な堆積に適しています。

4.航空宇宙産業
BNノズルはロケットエンジンやスラスタに使用されています。極度の温度や熱衝撃に耐える能力を備えているため、高速度の排気ガスを導くのに最適です。

BN セラミック

BNノズルは、金属・ガラス加工、3Dプリンティング、半導体、航空宇宙産業といった様々な分野でその汎用性と信頼性を実証しています。数々の利点を持つBNノズルは、高性能アプリケーションにおいて常に最適な選択肢であり続けています。BNノズルについてご質問がございましたら、お気軽に+86 592 558 9730までお電話いただくか、sales@innovacera.comまでお問い合わせください。

質量分析計用に特別に設計されたセラミック加熱素子

質量分析計は、産業、環境、臨床用途において微量化学物質の検出に用いられています。この技術では、イオン化されたサンプルを質量分析計に入る前に加熱します。従来の加熱方法としては、ボックスヒーターまたはケーブルヒーターを用いて金属部品を加熱し、その熱を高純度不活性ガス流に伝導させる方法があります。

設計要件

質量分析計が高い検出感度を達成するには、分析対象物質のほとんどのレベルを測定できるため、汚染のない熱源を使用する必要があります。さらに、機器設計における競争上の要求は厳しく、感度を向上させつつ、サイズと複雑さを低減することも求められています。

MS用ヒーター

ソリューション

セラミックヒーターは、化学的適合性、低多孔性、そして微細な表面仕上げにより汚染の可能性を低減できるため、イオン源に適しています。さらに、400℃（752°F）まで加熱できるため、ほとんどの質量分析計の性能要件を満たすことができます。さらに、サンプルと直接接触できるため、高い出力対サイズ比を実現し、イオン源の複雑さとサイズを縮小できます。

MCHヒーターのメリット:

– 加熱時間が短い: MCH ヒーターは熱質量が低いためすぐに加熱され、はんだ付けを開始するまでの待ち時間が短縮されます。

-温度安定性: これらのヒーターは優れた温度制御と安定性を備えており、長時間使用しても一定の熱レベルを維持します。

-エネルギー効率: MCH ヒーターは電気エネルギーを熱に変換する効率が非常に高く、エネルギーの無駄を最小限に抑え、運用コストを削減します。

-均一な加熱: セラミック表面全体に均一な熱分散により、はんだ付け先端が目的の温度に均一に到達し、その温度を維持します。

-コンパクトな設計: MCH ヒーターはコンパクトで軽量であり、現代のはんだごての全体的な人間工学に基づいた設計に貢献します。

MS P45285NFAA用ヒーター

MCHヒーターの特性

項目	単位	アルミナセラミックヒーター
最大動作温度	°C	1050
使用温度	°C	850
熱伝導率	W/m.k	21
比熱	J/kg.k	0.78X10³
熱膨張係数	/°C(40-800°C)	0.78X10^-6
硬度（load 500g）	Gpa	13.5
曲げ強度	Mpa	320

MCHヒーターの温度曲線

以下は質量分析計に使用される一般的なヒーターです。

MCHヒーターのその他の用途

電子タバコ、3Dプリンター、自動車/モーター 酸素センサーヒーター、スマートバイブ/瞬間湯沸かし器、ケトル、ヘアアイロン、カーラー、ヘアドライヤーなどの小型家電。

MSE65375FB 6.5用ヒーター

セラミックヒーターは優れた性能により質量分析計に広く採用されており、世界中のお客様から高い評価を得ています。詳細については、お問い合わせください。

真空アルミめっき複合導電性セラミック蒸着ボート

1. 窒化ホウ素蒸着ボート 用途：

– 用途：

– 包装フィルムのアルミめっき

– コンデンサのメタライズフィルムのアルミめっき、紙・繊維のメタライズコーティング

– ホットスタンプ材料のメタライズ

– 偽造防止標識のメタライズ

– ディスプレイのメタライズ

– 太陽光発電システムの真空アルミめっき

– 半導体蒸着、ゲルマニウム、ニッケル、チタン、電子ビームスパッタリングなどの分野

2. 蒸発ボートの特徴：

非付着性：優れた非付着性を有し、材料の残留物や汚染を低減します。

導電性：通常、導電性が低いため、電子伝導の制御が必要な特定のプロセスに適しています。

化学的に不活性：多くの化学環境において比較的不活性で、腐食の影響を受けにくい

3.アルミニウムめっき用蒸発ボート:

– 予熱時間の短縮

– アルミニウムの拡散性向上

– スパッタリングやボートの曲がりの低減

– 長寿命

– より経済的な選択肢

4. 当社製品の特徴と利点：

高純度・高品質の原材料を使用することで、優れた化学的特性を実現しています。

優れた物理的特性を確保するため、国際的に先進的な真空ホットプレス焼結法を採用しています。

焼結工程では双方向加圧を採用し、製品の嵩密度の均一性を確保しています。

生産設備のデジタル制御により、安定した製品品質を確保しています。

独自の製法と最適化された組成構造により、蒸発ボートの耐熱衝撃性と曲げ強度が向上し、アルミニウム液の拡散性と蒸発効率が向上し、アルミニウム液の耐腐食性が向上し、耐用年数が延長されます。

5. 当社複合セラミック蒸着ボートカテゴリー:

2-成分: BN+TiB₂
3-成分: TiB₂+ BN+ ALN

–2-成分: BN+TiB2
主成分： BN+TiB₂

密度： 3.0g/cm³

結合成分： B₂O₃

色: グレー

室温抵抗率: 300-2000 Ω-cm

使用温度範囲: 1800℃以下

熱伝導率: >40W/mk

熱膨張係数: (4-6)x10-6 K

曲げ強度: >130Mpa

蒸発速度: 0.35-0.5g/min-cm²

–3成分: TiB2 + BN + ALN

性能基準：

抵抗率（室温）:300-2000μΩ-cm

蒸発速度(1450℃):0.4-0.5g/min-cm²

使用温度 ≤ 1850℃

熱伝導率（室温 /1450℃):> 100/40W/mk

熱膨張係数 (1450℃): (4-6)×10-6K

曲げ強度（室温）: 150mpa