当社は電子発生器コンポーネント用の アルミナセラミック（Al₂O₃） 部品を提供しています。
電子発生器部品は、電子の流れを生成、制御、方向付けるために不可欠な装置または部品です。これらの部品は、半導体製造や様々なハイテク用途において極めて重要です。
セラミック部品は、優れた電気絶縁性、熱安定性、高温耐性、耐腐食性を備えているため、電子発生器部品において重要な役割を果たします。ここでは、電子発生器部品に使用される主要なセラミック部品をいくつかご紹介します。
- セラミック絶縁体
- セラミックフィラメント
- セラミックフィードスルー
- 真空チャンバー
- 電子放出源
- 支持構造
- セラミックヒートシールド
- セラミックコンデンサ
- 誘電体セラミック
- 電極
電子発生器コンポーネントの主な側面は次のとおりです。
1. 電子銃
- 機能: 電子ビームを生成および放射します。電子顕微鏡、電子ビームリソグラフィー装置、電子ビーム溶接などでよく使用されます。
- 構成要素: 陰極 (電子を放出するために加熱される)、グリッド (電子ビームの強度を制御する)、陽極 (電子を加速する)。
2. 電源
- 機能: 電子銃を駆動し、正常な動作を維持するために安定した電流と電圧を提供します。
- 特徴: 高い安定性、低ノイズ、正確な制御。
3. フォーカスシステム
- 機能: 電磁レンズまたは静電レンズを使用して電子ビームを集束させ、対象領域で必要な精度と解像度を実現します。
- 構成部品: 電磁レンズ、静電レンズ。
4. 偏向システム
- 機能: 電子ビームの方向を制御し、ターゲット表面上に正確に配置します。
- コンポーネント: 偏向コイルまたは偏向電極。
5. 真空システム
- 機能: 電子発生器の動作に必要な高真空環境を提供および維持し、電子とガス分子の衝突を低減します。
- コンポーネント: 真空ポンプ、真空チャンバー。
6. 正極材料
- 機能: 電子放出の原料として機能し、通常、高い電子放出効率と高温耐性が求められます。
- 一般的な材料: タングステン (W)、WF6、LAB6。
7. 絶縁およびシールド部品
- 機能: 電子ビームの漏れを防ぎ、機器とオペレーターを放射線による損傷から保護します。
- 材質: セラミックガラス、金属シールド。
8. 冷却システム
- 機能: 熱を放散し、電子発生器のさまざまな部品が安全な温度範囲内で動作することを保証します。
- コンポーネント: 液体冷却システム、空気冷却システム。
応用分野
- 半導体製造: 電子ビームリソグラフィー、エッチング、検査。
- 材料科学：材料構造分析用の電子顕微鏡（SEM、TEM）。
- 医療機器：放射線治療装置。
- 工業加工：電子ビーム溶接、切断。
電子発生器コンポーネントは、電子ビームの生成、焦点合わせ、偏向を正確に制御し、広範囲にわたる複雑な製造プロセスと分析プロセスをサポートします。
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