半導体製造プロセスにおいて、窒化アルミニウムセラミックウェーハカバープレート はウェーハを搬送するための重要な部品であり、その性能はウェーハの品質と処理効率に直接影響します。 窒化アルミニウムセラミックス （Aluminum Nitride Ceramic）は、優れた熱伝導性、電気絶縁性、機械特性を備えた新しいタイプのセラミック材料です。熱伝導率は320W/m·Kに達し、アルミナセラミックスの10倍以上です。電気絶縁性は10^13Ω·cm以上、曲げ強度は350MPa以上に達します。これらの…