BN-AlNセラミックは、 窒化ホウ素（BN） と窒化アルミニウム（AlN） の粉末を焼結して作られます。優れた電気絶縁性、熱伝導性、高強度、耐熱衝撃性、ハロゲンガスプラズマに対する強い耐性を備えており、半導体製造装置部品や効果的な放熱が求められる部品など、幅広い用途に使用されています。   イオン源は、真空チャンバー内で原子イオンと分子イオンを生成する装置です。窒化アルミニウム/窒化ホウ素複合材料は、優れた電気絶縁性、熱伝導性、真空密閉性を備え、ガス放出も少ないため、イオ…