従来の製造技術で作られる単機能デバイスとは異なり、マイクロ電気機械システム（MEMS）は、マイクロメカニカル構造、センサー、アクチュエータ、電子部品を統合した微小サイズの制御可能な電気機械デバイスシステムです。この種の製品には、小型・軽量・低コスト・低消費電力・高信頼性・量産性・容易な統合・インテリジェント実装など、数多くの利点があリます。また、封止が内部のマイクロ電子部品を外部不純物から保護するだけでなく、内部構造に安定した制御可能な物理環境を提供する必要があることを意味します。異なる種類のM…