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随着中国半导体技术自给自足的不断推进，国内制造商正努力生产先进的陶瓷加热器。陶瓷加热器是芯片制造设备的关键部件，能够确保关键半导体制造工序的精确温度控制，是现代晶圆厂不可或缺的关键部件。     为什么陶瓷加热器在半导体制造中如此重要？   在半导体生产中，晶圆要经过薄膜沉积（CVD、PECVD、ALD）和蚀刻等工艺，这些工艺需要极其精确且均匀的加热。传统金属加热器在高温（500°C 以上）下使用受限，原因是热膨胀和颗粒污染风险。 …

质谱仪在工业、环境和临床应用中用于检测痕量化学物质。该技术在电离样品进入质谱仪之前对其进行加热。传统的加热方法包括使用箱式或电缆式加热器加热金属部件，然后将热量传导给高纯度惰性气体。   设计要求 为了使质谱仪达到高检测灵敏度，必须使用无污染的热源来实现大多数分析物的水平钻孔。此外，在提高灵敏度的同时，减小尺寸和复杂性的仪器设计竞争需求也面临着挑战。     解决方案 陶瓷加热器是离子源的首选，因为它具有良好的化学兼容性、低孔隙率和…

氧化铝陶瓷金属化圆片通常采用三孔设计，用于TO（晶体管外型）封装。它能够在严苛的条件下提供气密性、电气绝缘性和热稳定性，从而实现高可靠性的电子封装。     产品概述 氧化铝陶瓷金属化工艺是在陶瓷表面涂覆钼锰 (Mo-Mn) 合金，然后再镀镍，从而将陶瓷和金属的机械和电气特性完美结合。这三个通孔用于容纳金属穿通引脚，从而实现电气互连，同时保持气密隔离。金属化氧化铝圆盘构成了 TO 封装（例如 TO-3、TO-5、TO-8、TO-39 等）的绝缘基底…

Innovacera 提供一系列用于电子枪的坩埚，并可根据特定需求进行设计和定制。您是否已经选择了最合适的镀铝坩埚？本文详细介绍了如何选择，我们一起往下看。     铝会与钨坩埚、钼坩埚和钽坩埚形成合金，这会导致坩埚内部腐蚀，并污染铝。同时，膜层也会受到污染，例如膜层发黑、发暗，甚至出现斑点。铝还会与石墨坩埚中的碳形成黄色的碳化铝，形成的碳化铝会蒸发到样品上，导致膜层变黄。使用氮化硼坩埚、氧化铝坩埚或石英坩埚容易出现电子束散焦问题。主要原因是坩埚不导…

四极杆质谱仪通过选择具有特定m/z（质荷比）值的离子进行分析，起到了质量过滤器的作用。虽然四极杆质谱仪在灵敏度、分辨率或最高质量范围方面不如扇形磁场仪器，但它们在临床实验室中占据主导地位。这是因为它们易于使用、成本相对较低、体积小巧，并且易于与气相色谱 (GC) 或液相色谱 (LC) 系统连接。 图 1. 四极杆质量分析器示意图   原理： 四极杆质量分析器由四根平行的圆柱形杆组成，这些杆具有双曲线横截面。这些杆通过直流电和交流电压充电，以影响离子的运动。充…