陶瓷真空吸盘是一种利用纳米粉末制备的均匀固体或真空体。材料经过高温烧结，内部生成大量连通或封闭的陶瓷材料。
其材质为Al2O3或SIC，广泛应用于半导体和电子设备。
在这些应用中，它可以通过真空吸附固定半导体晶圆、玻璃基板材料和其他工作对象。
相比传统吸盘针对单一规格工件的特点，陶瓷真空吸盘的区域吸附功能有助于提高生产线的顺畅度和性能，并避免传统吸盘在工件（尤其是薄膜材料）上留下划痕和吸痕。
陶瓷真空吸盘除了用于吸附工件外，还可用于传输式气浮模块。即使是大片玻璃基板等工件，在运输和转运过程中，也能避免直接接触平台，从而避免污染物附着、应力、静电以及玻璃基板损坏。此外，多孔材料可以大大减少气体流量，达到气垫层气压均匀的效果，并保持一定的悬浮高度。
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