为了提高抗压强度,INNOVACERA 将高功率加热管的陶瓷绝缘层厚度从 0.38 毫米增加到 0.50 毫米(例如 90105 系列)。
如下图所示:
此次,陶瓷隔热层厚度共计增加0.12毫米,其他生产工艺和制造技术保持不变,对产品无任何负面影响。
产品外观变化如下,仅供参考。
此变更将于2020年1月开始,敬请留意!
为了提高抗压强度,INNOVACERA 将高功率加热管的陶瓷绝缘层厚度从 0.38 毫米增加到 0.50 毫米(例如 90105 系列)。
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此次,陶瓷隔热层厚度共计增加0.12毫米,其他生产工艺和制造技术保持不变,对产品无任何负面影响。
产品外观变化如下,仅供参考。
此变更将于2020年1月开始,敬请留意!
金属化陶瓷套管广泛应用于陶瓷与金属的连接工艺。陶瓷具有优异的绝缘性能,通过金属化工艺可以与金属很好地结合。除了标准套管外,INNOVACERA 还提供多种定制形状和尺寸。
英诺华的金属化陶瓷绝缘体是通过金属化工艺将陶瓷与厚金属膜结合而成。 陶瓷和金属的这种组合使绝缘体能够承受恶劣的条件并在需要时提供电气隔离。
氧化铝陶瓷聚焦环旨在改善晶圆边缘或周边的蚀刻均匀性。与静电吸盘 (e-chuck) 配合使用时,晶圆将放置在边缘聚焦环上,并由静电电荷固定。