热解氮化硼 (PBN) 是一种先进的陶瓷，纯度为 99.99%，属于六方氮化硼等级。它通过化学气相沉积工艺生产，形成固体，所有氮化硼晶体都平行于蒸汽沉积的表面生长。它是熔炉、电气、微波和半导体元件的理想材料。
热解氮化硼坩埚应用：
1. 半导体单晶和 III-V 化合物合成
2. 异形和定形石墨涂层
3. 用于合成 GaAs、GaP 单晶
4. 蒸发包括镓 (Ga) 和铝 (Al) 在内的多种材料，用于外延生长化合物半导体。
氮化硼陶瓷如何满足先进CVD、PVD和MOCVD工艺的材料需求
随着半导体制造工艺不断向更高温度、更高纯度和更复杂的等离子体环境发展，设备内部材料的稳定性和洁净度正成为影响良率和设备寿命的关键因素。在此背景下，氮化硼 (BN) 和热解氮化硼 (PBN) 陶瓷材料的应用正逐渐从传统的耐高温部件扩展到整个工…
