热解氮化硼 (PBN) 涂层是由氮化硼组成的保护性表面层，氮化硼是一种合成陶瓷材料，以其出色的热、电和化学性能而闻名。 它通过化学气相沉积 (CVD) 工艺沉积到基材上，从而能够精确控制厚度和均匀性。
热解氮化硼涂层可承受超过 1800 摄氏度的温度，确保在极热条件下提供保护。
热解氮化硼涂层的纯度确保涂层表面不会将杂质引入正在处理的工艺或材料中，使其适合半导体和光学应用。 PBN 涂层组件是半导体制造中不可或缺的一部分，它们为化学气相沉积 (CVD) 和分子束外延 (MBE) 等关键工艺提供高纯度、热稳定的表面。
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