氮化硼衬套

离子源的工作条件极为严苛，高电压、高温、等离子体暴露、真空以及腐蚀性气体常同时存在。若材料不稳定，问题会迅速显现。氮化硼在这些条件下表现出均衡的性能。

1. 氮化硼绝缘体

典型应用包括：

• 阳极与阴极之间的隔离
• 提取电极之间的绝缘
• 高压电极的支撑绝缘

在千伏级电压下，绝缘稳定性至关重要。如果材料发生电痕或局部击穿，系统可靠性会下降。氮化硼具有高体积电阻率，在高电压下保持稳定。

2. 氮化硼陶瓷衬套

衬套通常安装在电极穿过腔室壁的位置。

主要功能包括：

• 将电极与腔室进行电绝缘
• 保护真空腔室内的高压电极
• 防止金属与金属直接接触

简单来说，它们将高压与接地结构隔离。在等离子体暴露下，表面时常遭受轰击。在这些环境中，氮化硼通常比普通氧化铝寿命更长。尺寸稳定性同样重要。离子源内部间距通常较为紧密且敏感。

3. 绝缘支撑

氮化硼也用于离子源内部的结构支撑。

例如：

• 电极定位支撑
• 灯丝支架
• 加热器支架

这些部件常在高温区域工作。如果材料膨胀过大或开裂，可能导致对准问题。氮化硼热膨胀系数较低，且易于加工。与氮化铝相比，它在复杂零件加工中更为友好。