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BN-AlNセラミックは、 窒化ホウ素（BN） と窒化アルミニウム（AlN） の粉末を焼結して作られます。優れた電気絶縁性、熱伝導性、高強度、耐熱衝撃性、ハロゲンガスプラズマに対する強い耐性を備えており、半導体製造装置部品や効果的な放熱が求められる部品など、幅広い用途に使用されています。   イオン源は、真空チャンバー内で原子イオンと分子イオンを生成する装置です。窒化アルミニウム/窒化ホウ素複合材料は、優れた電気絶縁性、熱伝導性、真空密閉性を備え、ガス放出も少ないため、イオ…

アルミナセラミック部品は、優れた 電気絶縁性 、高い熱伝導性、そして機械的強度を備えているため、半導体プロセス装置に広く使用されています。半導体製造において、アルミナセラミック部品は特にイオン注入装置において重要な役割を果たしています。     注入装置は、イオンを加速して基板に注入し、その特性を変更する半導体製造における重要なプロセスであるイオン注入に使用されます。   アルミナセラミック部品 は、イオン注入プロセスに特有の高…

当社は電子発生器コンポーネント用の アルミナセラミック（Al₂O₃） 部品を提供しています。   電子発生器部品は、電子の流れを生成、制御、方向付けるために不可欠な装置または部品です。これらの部品は、半導体製造や様々なハイテク用途において極めて重要です。     セラミック部品は、優れた電気絶縁性、熱安定性、高温耐性、耐腐食性を備えているため、電子発生器部品において重要な役割を果たします。ここでは、電子発生器部品に使用される主要…

本日は、ラムダ センサー (O2 センサー) とも呼ばれる酸素センサーに使用される MCH ヒーターのもう 1 つの一般的な用途を紹介します。   ラムダセンサー（O2センサー） ラムダセンサー（ラムダプローブとも呼ばれる）は、排気ガス中の酸素濃度を測定し、エンジンの排気管に設置されます。エンジンの様々な運転モードにおけるラムダセンサーの動作波形を分析することで、センサー自体の機能だけでなく、エンジンマネジメントシステム全体の機能も評価できます。ラムダセンサーの故障の…

ウェーハ製造において、TTV、Bow、Warp はウェーハの平坦性と厚さの均一性を決定する重要なパラメータであり、重要なチップ製造プロセスに大きな影響を与えます。     A.TTV、ボウ、ワープの定義と測定方法   1.TTV（総厚さ変動）   定義： TTVは、ウェーハの直径全体における最大厚さと最小厚さの差を指し、厚さの均一性を評価します。   測定： 非クランプ状態で測定し…