technical ceramic solutions

窒化ケイ素坩堝

  • 窒化ホウ素るつぼ応用−電子ビーム蒸発 Company

    半導体製造において、窒化ホウ素はエッチング剤と薄膜堆積原料として使用でき、保護層の役割を果たし、デバイスの損傷や汚染を防止します。   また、窒化ホウ素は、様々な薄膜材料を製造するための電子ビーム蒸発源材料としても使用することができます。   例:電子ビーム蒸着膜導電性窒化ホウ素るつぼ(BNるつぼ) −薄膜蒸着装置に使用します。   導電性窒化ホウ素るつぼは、電子ビーム蒸着めっき膜のために設計された高純度の平滑なるつぼです。 …

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