半導体製造プロセスが高温化、高純度化、より複雑なプラズマ環境へと進化し続けるにつれ、装置内部の材料の安定性と清浄性が歩留まりと装置寿命に影響を与える重要な要因となりつつあります。この背景のもと、窒化ホウ素（BN）及び熱分解窒化ホウ素（PBN）セラミックス材料の用途は、従来の耐高温部品からプロセスシステム全体の重要な構造部材レベルへと徐々に拡大しています。     近年、BN セラミックス材料の CVD、PVD、MOCVD など先進プロセス装置における…

窒化ホウ素は航空宇宙分野で幅広く応用されており、航空宇宙機の性能、信頼性、安全性の向上に貢献しています。 高温保護コーティング：窒化ホウ素は優れた高温安定性と耐酸化性を備えており、ロケットエンジンや航空機ガスタービンエンジンの高温部品に最適なコーティング材料です。これらの部品を高温および腐食環境から保護します。 2. 強化複合材料：窒化ホウ素は強化相として使用され、他の材料と組み合わせることで高性能複合材料を形成できます。これらの複合材料は、航空機や宇宙船の構造部品の製造に使用され、…