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铍陶瓷氧化铍金属化

BeO陶瓷的热导率很高,可与一些金属材料相媲美;还具有耐高温、耐高压、强度高、介电损耗小等优点,满足了功率器件对绝缘性能的要求。但是BeO粉末是一种剧毒物质,对人体和环境会造成严重危害。这一致命缺点极大地限制了BeO陶瓷基片在工业领域的生产和应用

Beryllia Ceramic BeO Metallization

Beryllia Ceramic BeO Metallization

 

BeO陶瓷最常用的金属化方法是钼锰法,该方法是将纯金属粉末(Mo、Mn)和金属氧化物的糊状混合物涂在陶瓷表面,然后在炉中高温加热,形成金属层。在Mo粉中添加10%~25%Mn是为了改善金属涂层与陶瓷的结合。

但钼锰法对BeO陶瓷的金属化也存在一定的局限性,BeO陶瓷的热导率可达300W/(m•K)以上,而钼的热导率仅为146W/(m•K),不利于BeO陶瓷的高散热特性。为了改善这一弊端,在钼锰法的基础上发展了钨锰法。金属钨的热导率比金属钼高,而钨的电阻率也比金属钼低。因此,钨锰法不仅可以提高整体结构的散热效率,还有利于提高金属化层的电导率。

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