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溅射用陶瓷靶材

Innovacera 采用热压烧结法生产各种陶瓷靶,我们向全球供应高品质的 LaB6、CeB6、Si3N4、AlN、BC、Al2O3 和其他溅射靶。大多数陶瓷靶具有耐热性、高熔点、耐腐蚀性和优异的绝缘性。我们的溅射靶具有以下优点:表面光滑、颜色均匀、无裂纹、无碎裂、无外部夹杂物和污染物。 因此,它们可以长时间暴露在氧化环境和高温下,具有许多工程应用。
六硼化镧 (LaB6) 陶瓷靶

陶瓷溅射靶因其独特的性能和优势,在各个行业中有着广泛的应用。一些常见的应用包括:

薄膜沉积:陶瓷溅射靶用于物理气相沉积技术,将陶瓷材料的薄膜沉积到不同的基材上。它们广泛用于半导体器件、太阳能电池、光学涂层和磁记录介质等应用。
光学涂层:陶瓷靶材用于生产镜头、镜子和其他光学元件的光学涂层。这些涂层用于增强光学性能,如反射率、抗反射、硬度和耐用性。

 

耐磨和耐腐蚀:陶瓷溅射靶材用于在机械部件上沉积耐磨和耐腐蚀涂层,以提高其表面硬度、减少摩擦并延长其使用寿命。这使它们适用于汽车、航空航天和制造业。

 

半导体器件:陶瓷靶材用于在晶体管、二极管和集成电路等半导体器件上沉积陶瓷材料薄膜。这些薄膜用于提高这些设备的性能和可靠性。

 

磁记录介质:陶瓷靶材用于生产磁记录介质,例如硬盘驱动器。它们用于沉积具有高矫顽力和剩磁的磁性材料薄膜,从而实现高密度数据存储。

 

装饰涂层:陶瓷溅射靶材还可用于在各种材料(例如玻璃、金属和塑料)上沉积装饰涂层。这些涂层用于提供装饰性饰面、改善美观度并提供耐刮擦性。

 

燃料电池:陶瓷溅射靶材用于制造固体氧化物燃料电池 (SOFC)。这些靶材用于沉积燃料电池高效发电所需的陶瓷电解质和电极层。

 

总体而言,陶瓷溅射靶材由于其多功能性、优异的物理性能以及沉积高质量薄膜的能力而广泛应用于各个行业和技术。

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