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防静电(ESD)安全微孔陶瓷真空吸盘

ESD(防静电)安全微孔陶瓷板

INNOVACERA ESD(防静电)安全微孔陶瓷真空吸盘(黑色和深棕色)可定制,为薄膜材料的自动化处理或视觉检测提供高性能的吸力和夹持。可满足半导体光刻技术和平板显示器OLED切割的要求。

防静电微孔陶瓷真空吸盘的优点:

  • 可在高真空环境下实现全区域精密吸附夹持;污染小,不损伤晶圆;
  • 吸附力均匀,吸附时不会产生局部受力,使晶圆不会翘曲变形,吸附力持续稳定,可保证晶圆的加工精度;
  • 广泛应用于半导体光刻等工艺;
  • 可吸附金属箔、晶圆、玻璃、树脂膜等导体、半导体、绝缘体等。

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