热解氮化硼（PBN）是一种先进的陶瓷，热解氮化硼PBN圆盘和其他热解氮化硼产品采用化学气相沉积（CVD）工艺在模具上合成，使用BCl3和NH3在高温低压下进行。PBN产品非常纯净，因为气体材料的纯度更容易控制。通常，PBN产品的总杂质含量小于100 ppm，这意味着纯度不低于99.99％。它是窗口的理想材料。
真空微波设备的领先制造商使用氧化铝陶瓷作为输入输出窗口屏障的主要材料。目前，氮化铝被认为是这些传统材料的可能替代品。同时，众所周知的热解氮化硼 (PBN) 似乎是一种被大部分 ED 开发人员低估的材料。热解氮化硼板作为高功率微波电子设备的窗口材料。
用于 RF 真空窗口的热解氮化硼板
随着半导体制造工艺不断向更高温度、更高纯度和更复杂的等离子体环境发展，设备内部材料的稳定性和洁净度正成为影响良率和设备寿命的关键因素。在此背景下，氮化硼 (BN) 和热解氮化硼 (PBN) 陶瓷材料的应用正逐渐从传统的耐高温部件扩展到整个工…
PBN 是要求高温高纯度应用的理想选择。PBN 是一种采用 CVD 工艺生长的超纯氮化硼固体。该材料无毒、无孔，具有优异的抗热震性和良好的导热性。 应用领域 MBE 坩埚 MBE 家具 真空炉保温 电绝缘体 LEC、VGF 坩埚 相扑坩埚 …
PBN板可用作绝缘垫、垫片、支架等材料，广泛应用于真空、高温和分子束外延（MBE）设备领域。 热解氮化硼（PBN）是一种白色固体材料，无孔且无毒。氮化硼可以通过压制或烧结方法成型，而高纯度的PBN产品则采用1800℃高温、极低压的气相沉积工…
