翘曲

在晶圆制造中，TTV、弯曲度和翘曲度是决定晶圆平整度和厚度均匀性的重要参数，对关键的芯片制造工艺有重大影响。     A.TTV、弯曲度和翘曲度的定义和测量方法   1.TTV（总厚度变化）   定义： TTV 是指晶圆直径上最大厚度与最小厚度之间的差值，用于评估厚度均匀性。   测量： 在非夹紧状态下测量，计算晶圆中心表面与参考平面之间的最小和最大距离偏差，包括凹凸变化。 …