アルミナセラミック部品は、優れた 電気絶縁性 、高い熱伝導性、そして機械的強度を備えているため、半導体プロセス装置に広く使用されています。半導体製造において、アルミナセラミック部品は特にイオン注入装置において重要な役割を果たしています。     注入装置は、イオンを加速して基板に注入し、その特性を変更する半導体製造における重要なプロセスであるイオン注入に使用されます。   アルミナセラミック部品 は、イオン注入プロセスに特有の高…