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中国、半導体産業向けセラミックヒーターの国産化を推進中 Company
中国が半導体技術の自給自足を推進する中、国内メーカーは先進的なセラミックヒーターの生産に注力しています。セラミックヒーターは半導体製造装置の重要な部品であり、主要な半導体製造プロセスにおける正確な温度制御を担うため、現代の半導体製造工場には欠かせない存在となっています。 半導体製造においてセラミックヒーターが重要な理由は何でしょうか? 半導体製造においては、ウェハは薄膜堆積(CVD、PECVD、ALD)やエッチングなどのプロ…