SiC ceramic substrates

エンジニアリングセラミック基板の分野において、炭化ケイ素（SiC）は長らく非常に特別な位置を占めてきました。その価格はアルミナ（Al2O3）、窒化アルミニウム（AlN）、窒化ケイ素（Si3N4）よりも大幅に高いにもかかわらず、高級パワーエレクトロニクス、半導体製造、および極限環境用途において、コストパフォーマンスや性能が近い材料に置き換えられることはありませんでした。むしろ、その応用規模は拡大し続…